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发明名称 HAKUMAKUKEISEISOCHI
摘要
申请公布号 JP2644903(B2) 申请公布日期 1997.08.25
申请号 JP19900035184 申请日期 1990.02.15
申请人 MATSUSHITA DENSHI KOGYO KK 发明人 MITSUI AKIRA
分类号 H01L21/205;C23C16/44;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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