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发明名称 ICHANDORA
摘要
申请公布号 JP2644810(B2) 申请公布日期 1997.08.25
申请号 JP19880063325 申请日期 1988.03.18
申请人 HITACHI SEISAKUSHO KK;HITACHI SHIMIZU ENJINIARINGU KK 发明人 HIRAI YOSHIO;KANEKO SATORU;KAWASHIMA EIJI
分类号 G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
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