发明名称 HANDOTAISOCHINOSEIZOHOHO
摘要
申请公布号 JP2644201(B2) 申请公布日期 1997.08.25
申请号 JP19940294856 申请日期 1994.11.29
申请人 YAMAGATA NIPPON DENKI KK 发明人 URASHIMA MANABU
分类号 H01L21/28;H01L21/265;H01L21/318;H01L21/331;H01L29/73;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/331 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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