| 发明名称 |
DAIYAMONDOMAKUNOPATAANINGUHO |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JP2645712(B2) |
申请公布日期 |
1997.08.25 |
| 申请号 |
JP19870281359 |
申请日期 |
1987.11.07 |
| 申请人 |
SUMITOMO DENKI KOGYO KK |
发明人 |
NAKAHATA HIDEAKI;IMAI TAKAHIRO;FUJIMORI NAOHARU |
| 分类号 |
H01L21/205;C30B29/04;H01L21/306;H01L23/36;H01L23/373;H01L29/78;H01L29/786;H05K7/20;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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