Menetelmä mikrohuokoisen, kaasua läpäisevän elektrodin valmistamiseksisekä mikrohuokoinen kaasua läpäisevä elektrodi,申请号FI19940000240-传众专利搜索

发明名称	Menetelmä mikrohuokoisen, kaasua läpäisevän elektrodin valmistamiseksisekä mikrohuokoinen kaasua läpäisevä elektrodi
摘要
申请公布号	FI98861(C)	申请公布日期	1997.08.25
申请号	FI19940000240	申请日期	1994.01.18
申请人	VAISALA OY,	发明人	STORMBOM,LARS
分类号	C23C14/14;C23C14/22;G01N27/22;H01L21/28;(IPC1-7):G01N27/22	主分类号	C23C14/14
代理机构		代理人
主权项
地址