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发明名称
FORMIERUNG VON EINER SCHICHT
摘要
申请公布号
DE69500438(D1)
申请公布日期
1997.08.21
申请号
DE19956000438
申请日期
1995.02.09
申请人
ELECTROTECH LTD., THORNBURY, BRISTOL, GB
发明人
DOBSON, CHRISTOPHER, DAVID, OLVESTON BRISTOL BS12 3AA, GB
分类号
H01L21/28;B23K20/02;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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