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发明名称 Phenylessigsäureester und ihre Anwendungen
摘要
申请公布号 DE59306908(D1) 申请公布日期 1997.08.21
申请号 DE19935006908 申请日期 1993.03.23
申请人 OCG MICROELECTRONIC MATERIALS, INC., WEST PATERSON, N.J., US 发明人 STEINMANN, ALFRED, DR., CH-1724 PRAROMAN, CH
分类号 C07D307/20;C07D309/12;G03F7/004;G03F7/039;H01L21/31;(IPC1-7):C07D309/12;G03F7/00 主分类号 C07D307/20
代理机构 代理人
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