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<p>Mit der Verwendung der Rückstosskraft der verdampfenden Teilchen als Messgrösse wird der Vakuumbedamfungsprozess geregelt, indem die Verdampfungsgeschwindigkeit erfasst wird. Der Verdampfertiegel (4) ist in der Vakuumkammer (1) mittels Kraftmesszellen (5) angeordnet, wobei aus dem von den Kraftmesszellen (5) gewonnenen Signal z.B. die elektrische Leistung zum Heizen des Verdampfungsgutes, die Strahlablenkung oder die Füllhöhe im Verdampfer geregelt werden kann, ohne dass die Sensoren mit dem Dampf in Berührung kommen. Mit dem Verfahren und der Einrichtung lassen sich Vakuumbedampfungsprozesse, insbesondere zum Bedampfen von Werkzeugen und plattenförmigen Substraten mit Funktionsschichten, regeln.</p> |
