发明名称 POSITIVRESISTZUSAMMENSETZUNG
摘要
申请公布号 DE69126868(D1) 申请公布日期 1997.08.21
申请号 DE19916026868 申请日期 1991.01.11
申请人 SUMITOMO CHEMICAL CO., LTD., OSAKA, JP 发明人 UETANI, YASUNORI, TOYONAKA-SHI OSAKA 561, JP;NAKANISHI, HIROTOSHI, MISHIMA-GUN OSAKA 618, JP;DOI, YASUNORI, TAKATSUKI-SHI OSAKA 569, JP
分类号 G03F7/022;(IPC1-7):G03F7/022 主分类号 G03F7/022
代理机构 代理人
主权项
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