PURAZUMASHORISOCHIOYOBISONOHOHO,申请号JP19890167789-传众专利搜索

发明名称	PURAZUMASHORISOCHIOYOBISONOHOHO
摘要
申请公布号	JP2643457(B2)	申请公布日期	1997.08.20
申请号	JP19890167789	申请日期	1989.06.28
申请人	MITSUBISHI DENKI KK	发明人	OKU KOJI
分类号	H01L21/302;C23F4/00;H01L21/3065;H05H1/46;(IPC1-7):H01L21/306	主分类号	H01L21/302
代理机构		代理人
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