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发明名称 Herstellverfahren für ein mikromechanisches Bauteil mit einer beweglichen Struktur
摘要
申请公布号 DE19600399(C1) 申请公布日期 1997.08.21
申请号 DE19961000399 申请日期 1996.01.08
申请人 SIEMENS AG, 80333 MUENCHEN, DE 发明人 WERNER, WOLFGANG, DR., 81545 MUENCHEN, DE
分类号 H01L21/302;B81B3/00;B81C1/00;G01P15/08;H01L21/306;H01L49/00;(IPC1-7):H01L21/308;H01L21/311 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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