| 发明名称 |
THIN POLYSILICON FILM AND PRODUCTION THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0589049(A4) |
申请公布日期 |
1997.08.20 |
| 申请号 |
EP19930906804 |
申请日期 |
1993.03.23 |
| 申请人 |
KANEGAFUCHI CHEMICAL INDUSTRY CO., LTD. |
发明人 |
YAMAMOTO, KENJI |
| 分类号 |
C03C17/22;(IPC1-7):C04B41/82 |
主分类号 |
C03C17/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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