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发明名称
BUNSHISENKETSUSHOSEICHOSOCHI
摘要
申请公布号
JP2643328(B2)
申请公布日期
1997.08.20
申请号
JP19880174760
申请日期
1988.07.13
申请人
FUJITSU KK
发明人
MAEDA TAKESHI
分类号
C30B23/08;H01L21/203;(IPC1-7):C30B23/08
主分类号
C30B23/08
代理机构
代理人
主权项
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