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发明名称 HANDOTAISOSHIBUNRIRYOIKINOKEISEIHOHO
摘要
申请公布号 JP2641781(B2) 申请公布日期 1997.08.20
申请号 JP19900043394 申请日期 1990.02.23
申请人 SHAAPU KK 发明人 KAWAMURA AKIO
分类号 H01L21/76;H01L21/308;H01L21/31;H01L21/32;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
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