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发明名称 NEGAGATAKANKOSEISOSEIBUTSUOYOBIPATANKEISEIHOHO
摘要
申请公布号 JP2643261(B2) 申请公布日期 1997.08.20
申请号 JP19880069082 申请日期 1988.03.23
申请人 HITACHI SEISAKUSHO KK;HITACHI KASEI KOGYO KK 发明人 CHOKAI MINORU;HAYASHI NOBUAKI;HASHIMOTO MICHIAKI;UENO TAKUMI;IWAYAGI TAKAO
分类号 G03F7/008;(IPC1-7):G03F7/008 主分类号 G03F7/008
代理机构 代理人
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