| 发明名称 |
HANDOTAISHUSEKIKAIRONOJIDOREIAUTOHOSHIKI |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JP2641960(B2) |
申请公布日期 |
1997.08.20 |
| 申请号 |
JP19900108360 |
申请日期 |
1990.04.24 |
| 申请人 |
NIPPON DENKI AISHII MAIKON SHISUTEMU KK |
发明人 |
TSURUTA MASAHIKO |
| 分类号 |
H01L21/82;G06F17/50;(IPC1-7):H01L21/82 |
主分类号 |
H01L21/82 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
