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发明名称 HANDOTAISHUSEKIKAIROSOCHIOYOBISONOSEIZOHOHO
摘要
申请公布号 JP2642377(B2) 申请公布日期 1997.08.20
申请号 JP19880020305 申请日期 1988.01.30
申请人 TOSHIBA KK 发明人 KURIBAYASHI MOTOTAKA
分类号 H01L21/822;H01L21/82;H01L27/04;H01L27/118;(IPC1-7):H01L27/118 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
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