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发明名称 GASUSOKIKI
摘要
申请公布号 JP2642936(B2) 申请公布日期 1997.08.20
申请号 JP19870261507 申请日期 1987.10.16
申请人 SHIRIKON BAREE GURUUPU INC 发明人 JERII EI TEIRAA SHINIA
分类号 B01J4/00;C23C16/44;C23C16/56;H01L21/22;(IPC1-7):C23C16/44 主分类号 B01J4/00
代理机构 代理人
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