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发明名称 SHUSEKIKAIRONOSEIHO
摘要
申请公布号 JP2643138(B2) 申请公布日期 1997.08.20
申请号 JP19870055119 申请日期 1987.03.10
申请人 TEKISASU INSUTORUMENTSU INC 发明人 TOOMASU DEII BONIFUIIRUDO;BITSUKU BII MARIOTSUTO;MONTE ARAN DAGURASU;RETSUTO BII JUCHA
分类号 H01L21/28;H01L21/027;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/768;H01L21/8234;H01L27/088;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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