Apparatus for coating substrates

摘要

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zur Oberflächenbeschichtung bzw. zum Lackieren von Substraten bzw. scheibenförmigen Substraten 2 wie einem scheibenförmigen Informationsträger, der auf einen Substratträger 14 aufbringbar und über eine Antriebsvorrichtung 3 antreibbar bzw. in eine Rotationsbewegung versetzbar ist, wobei das aufzutragende Mittel bzw. die Lackflüssigkeit 4 über eine Zuführeinrichtung 6 auf das Substrat 2 aufgegeben wird. Das vom Substratträger 14 abgegebene, flüssige Medium bzw. der Lack 4 wird zumindest an einen ersten Auffangbehälter 27 abgegeben, der mit mindestens einem Filter 28 verbunden ist, von dem die Flüssigkeit mittel- oder unmittelbar über eine Pumpe 29 an den ersten Auffangbehälter 27 geleitet wird, wobei zwischen der ersten Abflußleitung 33 des ersten Auffangbehälters 27 und der Pumpe 29 ein Unterdruck einstellbar ist. <IMAGE>