静电式夹盘

摘要

一种静电式夹盘，其能应用于如外延装置或刻蚀装置，用于静电式夹持半导体衬底或晶片。夹盘包括用于静电式在其上保持晶片的一平台。多升降针杆能够提升以上推晶片。安置在平台上的多释放针杆用于上推晶片的周缘部分。多驱动机构分别在晶片允许的弹性变形范围内逐级地上推释放针杆。控制装置通过相联的驱动机构选择驱动释放针杆。

主权项

1.一种静电式夹盘，其特征在于包括：一个静电式保持在其上半导体衬底的平台；多个能够提升以上推半导体衬底的升降针杆；多个排放在所述平台上用以上推半导体衬底周缘部分的释放针杆；多个在半导体衬底弹性变形允许的范围内逐级分别上推所述多个释放针杆的驱动机构；一个选择地驱动所述多个驱动机构的控制装置。