新型永磁控平面阴极电弧源

摘要

本发明是新型永磁控平面阴极电弧源，由矩形平板状靶材、阴极电弧源靶座、条形永磁体组成。其特征是在矩形大平面阴极电弧源靶材后面配置条形永磁体，相邻永磁体的磁极性相反，按N-S交替布置。电弧斑呈直条形、曲线形或折线形长斑。只要定时移动条型永磁体，便可以实现靶材的均匀烧蚀。使安装新型永磁控平面阴极电弧源的多弧离子镀膜机的结构简单、操作简便，适用于真空蒸发镀、多弧离子镀和多弧离子渗金属领域。

主权项

1.一种新型永磁控平面阴极电弧源，由矩形平板状靶材、阴极电弧源靶座、条形永磁体组成，其特征是在矩形大平面阴极电弧源靶材后面配置条形永磁体，永磁体可以排布呈直条形、曲线形或折线形，相邻永磁体的磁极性相反，按N-S交替布置，电弧斑呈直条形、曲线形或折线形，定时将永磁体移动一定距离，便可以使靶材均匀烧蚀。