DOFUIRUMUNOKAGAKUJOCHAKUHO,申请号JP19940121810-传众专利搜索

发明名称	DOFUIRUMUNOKAGAKUJOCHAKUHO
摘要
申请公布号	JP2641700(B2)	申请公布日期	1997.08.20
申请号	JP19940121810	申请日期	1994.05.11
申请人	EA PURODAKUTSU ANDO CHEM INC	发明人	JON ANSONII TOOMASU NOOMAN;AASAA KENIISU HOTSUKUBAAGU;DEBITSUDO AREN ROBAATSU
分类号	C23C16/14;C23C16/18;H01L21/28;(IPC1-7):C23C16/14;H01L21/205	主分类号	C23C16/14
代理机构		代理人
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