| 发明名称 |
Method and apparatus for spin coating and a method for manufacturing a semiconductor device |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2277892(B) |
申请公布日期 |
1997.08.20 |
| 申请号 |
GB19940009655 |
申请日期 |
1994.05.13 |
| 申请人 |
* FUJITSU LIMITED |
发明人 |
KENJI * KIKUCHI;TOMOAKI * MURAMATSU |
| 分类号 |
B05C5/00;B05C11/08;B05D1/40;G03F7/16;H01L21/027;H01L21/312;(IPC1-7):G03F7/16 |
主分类号 |
B05C5/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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