发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09219367(A) 申请公布日期 1997.08.19
申请号 JP19960022318 申请日期 1996.02.08
申请人 FUJITSU LTD 发明人 EGAWA MITSURU
分类号 H01L21/205;H01S5/00;(IPC1-7):H01L21/205;H01S3/18 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
地址