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发明名称 Thin film formation method
摘要
申请公布号 GB9712759(D0) 申请公布日期 1997.08.20
申请号 GB19970012759 申请日期 1997.06.17
申请人 NEC CORPORATION 发明人
分类号 C30B29/30;C23C14/06;C23C14/08;C23C14/58;H01L21/02;H01L21/203;H01L21/285;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/8242;H01L21/8246;H01L27/105;H01L27/108;H01L29/51 主分类号 C30B29/30
代理机构 代理人
主权项
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