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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH09219388(A) 申请公布日期 1997.08.19
申请号 JP19960022676 申请日期 1996.02.08
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 NAKATANI NORIKAZU
分类号 H01L21/306;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
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