| 发明名称 |
METHOD FOR TAKING OUT ELECTRODE AND CANTILEVER FOR ATOMIC FORCE MICROSCOPE USING THE ELECTRODE-TAKING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09218208(A) |
申请公布日期 |
1997.08.19 |
| 申请号 |
JP19960019870 |
申请日期 |
1996.02.06 |
| 申请人 |
NIKON CORP |
发明人 |
WATANABE SHUNJI;HATTORI TETSUO |
| 分类号 |
G01N37/00;G01Q20/04;G01Q60/38;H01L41/09;(IPC1-7):G01N37/00 |
主分类号 |
G01N37/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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