| 发明名称 |
FORMATION OF THIN FILM AND FILM FORMING DEVICE USED FOR THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09217176(A) |
申请公布日期 |
1997.08.19 |
| 申请号 |
JP19960025146 |
申请日期 |
1996.02.13 |
| 申请人 |
SONY CORP |
发明人 |
HIRATSUKA RYOICHI;KAWANA TAKAHIRO |
| 分类号 |
C23C16/50;G11B5/84;H01L21/205;H01L21/285;(IPC1-7):C23C16/50 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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