发明名称 MANUFACTURE OF ITO TRANSPARENT CONDUCTIVE FILM
摘要
申请公布号 JPH09217171(A) 申请公布日期 1997.08.19
申请号 JP19960052255 申请日期 1996.02.15
申请人 ANELVA CORP 发明人 ISHIBASHI KEIJI;WATABE KAZUFUMI
分类号 C23C14/08;C23C14/34;C23C14/35;C23C14/40;C23C14/44;G02F1/133;H01B1/00;H01B1/08;H01B13/00;(IPC1-7):C23C14/40 主分类号 C23C14/08
代理机构 代理人
主权项
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