发明名称 |
MANUFACTURE OF ITO TRANSPARENT CONDUCTIVE FILM |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH09217171(A) |
申请公布日期 |
1997.08.19 |
申请号 |
JP19960052255 |
申请日期 |
1996.02.15 |
申请人 |
ANELVA CORP |
发明人 |
ISHIBASHI KEIJI;WATABE KAZUFUMI |
分类号 |
C23C14/08;C23C14/34;C23C14/35;C23C14/40;C23C14/44;G02F1/133;H01B1/00;H01B1/08;H01B13/00;(IPC1-7):C23C14/40 |
主分类号 |
C23C14/08 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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