| 发明名称 |
EXHAUSTER OF ION IMPLANTATION DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09219172(A) |
申请公布日期 |
1997.08.19 |
| 申请号 |
JP19960048235 |
申请日期 |
1996.02.09 |
| 申请人 |
EBARA CORP |
发明人 |
FUKUNAGA AKIRA;KOMAI TETSUO |
| 分类号 |
H01J37/08;C23C14/48;C23C14/56;H01J37/18;H01J37/317;(IPC1-7):H01J37/317 |
主分类号 |
H01J37/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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