| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09219523(A) |
申请公布日期 |
1997.08.19 |
| 申请号 |
JP19960023619 |
申请日期 |
1996.02.09 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KUNITOMO HISAAKI;MASUDA HIROO;SATO HISAKO;NAKAMURA TAKAHIDE;TSUNENO KATSUMI;AOYAMA JINKO |
| 分类号 |
H01L27/12;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 |
主分类号 |
H01L27/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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