| 发明名称 |
GROWTH METHOD OF III-V COMPOUND SEMICONDUCTOR FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09219370(A) |
申请公布日期 |
1997.08.19 |
| 申请号 |
JP19960025332 |
申请日期 |
1996.02.13 |
| 申请人 |
HITACHI CABLE LTD |
发明人 |
NAGAI HISATAKA;MEGURO TAKESHI |
| 分类号 |
H01L29/73;H01L21/205;H01L21/331;H01L29/205;H01L29/737;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
H01L29/73 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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