MAGNETIC NEUTRAL DISCHARGE PLASMA SOURCE,申请号JP19960023835-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	MAGNETIC NEUTRAL DISCHARGE PLASMA SOURCE
摘要
申请公布号	JPH09219296(A)	申请公布日期	1997.08.19
申请号	JP19960023835	申请日期	1996.02.09
申请人	ULVAC JAPAN LTD	发明人	UCHIDA TAIJIROU
分类号	H05H1/46;C23C16/50;(IPC1-7):H05H1/46	主分类号	H05H1/46
代理机构		代理人
主权项
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