ELECTROSTATIC ACTUATOR AND PROBE, SCANNING PROBE MICROSCOPE, PROCESSING APPARATUS, RECORDING/REPRODUCING APPARATUS USING THE ACTUATOR,申请号JP19960046761-传众专利搜索

发明名称	ELECTROSTATIC ACTUATOR AND PROBE, SCANNING PROBE MICROSCOPE, PROCESSING APPARATUS, RECORDING/REPRODUCING APPARATUS USING THE ACTUATOR
摘要
申请公布号	JPH09218206(A)	申请公布日期	1997.08.19
申请号	JP19960046761	申请日期	1996.02.08
申请人	CANON INC	发明人	YASUDA SUSUMU;YAGI TAKAYUKI
分类号	G01N37/00;B81B3/00;G01Q10/04;G01Q20/04;G01Q80/00;G01Q90/00;G11B9/00;G11B9/14;G11B21/02;G11B21/21;(IPC1-7):G01N37/00	主分类号	G01N37/00
代理机构		代理人
主权项
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