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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR REMOVING RESIST FILM
摘要
申请公布号 JPH09219391(A) 申请公布日期 1997.08.19
申请号 JP19960022315 申请日期 1996.02.08
申请人 HITACHI LTD 发明人 SUZUKI YASUMICHI
分类号 H01L21/302;H01L21/027;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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