发明名称 LASER ANNEALER
摘要
申请公布号 JPH09219379(A) 申请公布日期 1997.08.19
申请号 JP19960024004 申请日期 1996.02.09
申请人 JAPAN STEEL WORKS LTD:THE 发明人 SAWAI YOSHIKI;KATO OSAMU
分类号 H01L21/268;(IPC1-7):H01L21/268 主分类号 H01L21/268
代理机构 代理人
主权项
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