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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH09219406(A)
申请公布日期
1997.08.19
申请号
JP19960025319
申请日期
1996.02.13
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
AKIYAMA KAZUTAKA
分类号
H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/321;H01L21/306
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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