发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09219406(A) 申请公布日期 1997.08.19
申请号 JP19960025319 申请日期 1996.02.13
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 AKIYAMA KAZUTAKA
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/321;H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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