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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH09219494(A) 申请公布日期 1997.08.19
申请号 JP19960024350 申请日期 1996.02.09
申请人 NEC CORP 发明人 TAKAHASHI HISASHI
分类号 H01L21/28;H01L21/265;H01L21/3213;H01L21/822;H01L27/04;H01L27/10;H01L27/11;(IPC1-7):H01L27/04;H01L21/321 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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