发明名称 Substratfangvorrichtung und Keramikblatt für Halbleiterbearbeitungseinrichtung
摘要
申请公布号 DE69402918(T2) 申请公布日期 1997.08.14
申请号 DE1994602918T 申请日期 1994.07.13
申请人 APPLIED MATERIALS, INC., SANTA CLARA, CALIF., US 发明人 SOMEKH, SASSON, LOS ALTOS HILLS, CA 94022, US;FAIRBAIRN, KEVIN, SARATOGA, CA 95070, US;KOLSTOE, GARY M., FREEMONT, CA 94538, US;WHITE, GREGORY W., SAN CARLOS, CA 94070, US;FARACO JR., W.GEORGE, SARATO, CA 95070, US
分类号 B65G49/07;H01L21/677;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 B65G49/07
代理机构 代理人
主权项
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