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经营范围
发明名称
An electron beam lithography system
摘要
申请公布号
IL120680(D0)
申请公布日期
1997.08.14
申请号
IL19970120680
申请日期
1997.04.16
申请人
ELTA ELECTRONICS INDUSTRIES LTD.
发明人
分类号
H01J37/304;(IPC1-7):H01L
主分类号
H01J37/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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