Verfahren zur Behandlung eines Substrats für Halbleiter-Bauelemente,申请号DE1990629913T-传众专利搜索

发明名称	Verfahren zur Behandlung eines Substrats für Halbleiter-Bauelemente
摘要
申请公布号	DE69029913(T2)	申请公布日期	1997.08.14
申请号	DE1990629913T	申请日期	1990.04.26
申请人	SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP;NAOETSU ELECTRONICS CO., KUBIKI, NAKAKUBIKI, NIIGATA, JP	发明人	KIMURA, HIROKAZU, C/O NAOETSU ELECTRONICS CO., NAKABUKI-GUN, NIIGATA, JP
分类号	B24B9/00;B24B9/06;H01L21/304;H01L29/06;H01L29/36;(IPC1-7):H01L21/304	主分类号	B24B9/00
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