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发明名称 Verfahren zum Ablegen einer anderen Dünnschicht auf einer Oxyd-Dünnschicht mit perovskiter Kristallstruktur
摘要
申请公布号 DE69404067(D1) 申请公布日期 1997.08.14
申请号 DE1994604067 申请日期 1994.04.14
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD., OSAKA, JP 发明人 TANAKA, SO, C/O OSAKA WORKS OF, KONAHANA-KU, OSAKA, JP
分类号 C01G1/00;C01G3/00;C04B41/89;C30B29/22;H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/24 主分类号 C01G1/00
代理机构 代理人
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