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发明名称 TANKETSUSHOBONOHIKIAGESOCHI
摘要
申请公布号 JP2640683(B2) 申请公布日期 1997.08.13
申请号 JP19880311857 申请日期 1988.12.12
申请人 SHINETSU HANDOTAI KK 发明人 IWASAKI ATSUSHI
分类号 C30B15/00;C30B27/00;C30B29/06;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/00 主分类号 C30B15/00
代理机构 代理人
主权项
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