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发明名称 HYOMENNOKENSAHOHOOYOBISOCHI
摘要
申请公布号 JP2640935(B2) 申请公布日期 1997.08.13
申请号 JP19850500104 申请日期 1984.09.20
申请人 发明人
分类号 G01N23/225;H01J37/252;H01J49/40;H01L21/00;(IPC1-7):H01J37/252 主分类号 G01N23/225
代理机构 代理人
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