| 发明名称 |
KAGOBUTSUHANDOTAINOKETSUSHOSEICHOHOHOOYOBIKETSUSHOSEICHOSOCHI |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JP2641387(B2) |
申请公布日期 |
1997.08.13 |
| 申请号 |
JP19930327011 |
申请日期 |
1993.12.24 |
| 申请人 |
KANAGAWA KAGAKU GIJUTSU AKADEMII;SUTANREE DENKI KK |
发明人 |
TOMITA SHOTARO;KATO HIROYUKI;OKUNO YASUO |
| 分类号 |
C30B11/00;C30B11/04;C30B29/48;H01L21/208;(IPC1-7):C30B29/48 |
主分类号 |
C30B11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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