一种制备金属及合金薄膜的金属有机化学气相淀积法

摘要

本发明制备金属及合金薄膜的方法，以低压热化学气相淀积法为基础，其特征在于采用具有高能量密度的红外光源或经过聚焦的普通红外光源，使β-二酮类金属有机化合物源受光照挥发后，与还原性气氛混合，在热的衬底表面上反应，从而在衬底上获得金属或合金薄膜；本方法具有广泛的适用性，可制备包括稀土、过渡族或碱土金属及其合金薄膜。

主权项

1.一种制备金属及合金薄膜的方法，以低压热化学气相淀积法为基础，其特征在于采用具有高能量密度的红外光源或经过聚焦的普通红外光源，使β-二酮类金属有机化合物源受光照挥发后，与还原性气氛混合，在热的衬底表而上反应，从而在衬底上获得金属或合金薄膜。