| 发明名称 |
DEVICE FOR FORMING DEPOSITED FILM BY PLASMA CVD METHOD AND METHOD THEREFOR |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH09209157(A) |
申请公布日期 |
1997.08.12 |
| 申请号 |
JP19960040607 |
申请日期 |
1996.02.02 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
KATAGIRI HIROYUKI;SEKI YOSHIO;SHIRASAGO TOSHIYASU |
| 分类号 |
G03G5/08;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/50;C23C16/505;H01L21/205;H01L21/285;H01L21/31;H01L31/08;(IPC1-7):C23C16/50 |
主分类号 |
G03G5/08 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
