| 发明名称 |
DEFECT DETECTION METHOD FOR COVER RAY FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09210658(A) |
申请公布日期 |
1997.08.12 |
| 申请号 |
JP19960016293 |
申请日期 |
1996.02.01 |
| 申请人 |
SHIN ETSU CHEM CO LTD |
发明人 |
SUGITANI ATSUSHI;KONISHI HISASHI;EIKUCHI KICHIJI |
| 分类号 |
G01B11/30;C08J7/04;G01N21/892;(IPC1-7):G01B11/30 |
主分类号 |
G01B11/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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