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发明名称 APPARATUS FOR PRODUCING SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH09208378(A) 申请公布日期 1997.08.12
申请号 JP19960038990 申请日期 1996.01.31
申请人 SUMITOMO SITIX CORP 发明人 KUBO TAKAYUKI
分类号 C30B15/14;C30B15/20;C30B29/06;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/20 主分类号 C30B15/14
代理机构 代理人
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